멜콘 - MELCON

THC (Temperature & Humidity Controller)

공기의 온도, 습도, 기류 등을 사용자의 목적에 맞게 가장 알맞은 상태로 조정하는 시스템

THC 사용 용도

반도체 제조 공정내 Photolithography용 Coater & Developer 설비 및 PR 온습도환경 제어

300mm 대응용의 THC

Control Spec.	Temp.	THC	S.V ± 0.1℃
	Humid.	THC	S.V ± 0.5%
	Temp.	CHR	S.V ± 0.1℃

200mm 대응용의 THC

Control Spec.	Temp.	THC	S.V ± 0.1℃
	Humid.		S.V ± 0.5%

제습기 (Dehumidifier)

실내공기를 냉각시켜 Chamber 내의 습도를 제어하는 장치

제습기 사용용도

반도체 제조 공정내 Etch & Wet 설비의 습도 관리 목적

제품사양

온도/습도 제어 성능	온도 : 23 ℃ ± 1 ℃, 습도 :10% ↓ (특정 공정 3% ↓) 풍속 : 0.2 ~ 0.5 m/sec)

CHR (Chiller)

액체(항온수)를 사용자 목적에 맞게 온도를 조정하는 시스템

CHR 사용 용도

반도체 제조 공정내 Photolithography용 Coater & Developer 설비의 모터, 유량, Wafer 온도를 조절 관리

300mm 대응용

제어 온도 범위 : +20.0℃ ~27.0℃
온도 제어 정밀도 : S/V ± 0.05 ℃
Option : Absorbing vibration of coolant flow

미래창조 기술산업

멜콘 주식회사는 반도체 제품에 대한 경험과 노하우를 바탕으로 제품 생산 전산화 경험을 위한 MES, QMS, WMS자체 개발을 통해 생산 제품에 대한 조회 및 분석을 효율적으로 관리를 위한 목적으로 TMS서비스로 개발에 최선을 다하여 고객에게 제공하고자 합니다.

"Humidity controlled Clean Air supply system"을 이용한 특수 공정에서의 H2O에 의한 Defect control 기능
Data Gathering에서 Big Data까지 아우르는 Software solution을 제공
풍부한 경험과 노하우, Data를 이용한 AI(인공지능) 기반의 Self-Diagnosis 기술 개발 지원

소프트웨어 솔루션 전문

멜콘 주식회사의 자회사인 솔루잇 주식회사는 멜콘에서 개발중인 반도체 제조 제품 개발부서와 연계하여 제품에 필요한 Software Solution 개발에 박차를 가하여 제품에 맞는 최적화된 장비 Software를 제공하고자 하고있습니다. 여러 프로그래머들의 능력과 열정, 멜콘의 풍부한 경험과 노하우, Big data를 바탕으로 고객의 Needs를 만족시키고자 합니다.

첨단 소프트웨어 솔루션 개발 및 공급
기기 자동제어장치 개발 및 소프트웨어 용역, 자문 등

사업영역