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OVERVIEW

Customer Focused Technology

멜콘은 국내외 기업과 당당히 경쟁합니다.

초정밀 환경제어 솔루션 제공

멜콘 주식회사는 반도체 제조 환경에 특화된 초정밀 환경제어 전문 기업으로,

반도체 제조장비 내부의 초정밀 온습도 및 청정 환경유지를 담당하여 장비 성능과 신뢰성을 높이는 제품 등을 제조하고 있습니다.

1. 웨이퍼 제조
2. 산화
3. 포토
4. 식각
5. 증착&이온주입
6. 금속배선
7. EDS
8. 패키징

Coating & Develop

  • THC
  • 초정밀 온습도 제어를 통한 Wafer의
    PR 균일도 제어

    공정 Spin시 발생되는 열제어

Exposure

  • XCDA
  • 노광기 광학 모듈에 CDA 공급

    일반 CDA를 초고순도로 정제하여
    외부 오염으로부터 보호

  • 도포 공정

  • 웨이퍼 표면에 빛에 민감한 물질인 감광액(PR, Photo Resist)을 균일하게 바르는 작업

  • 노광 공정

  • 회로 패턴이 새겨진 마스크에 빛을 통과시켜 감광액 막이 형성된 웨이퍼 위에 회로를 그려넣는 과정

  • 현상 공정

  • 노광(Exposure)로 형성된 감광막(PR)에서 빛을 받은 영역과 받지 않은 영역을 선택적으로 제거해 패턴을 남기는 공정